當前，微型零件的加工主要有光刻加工和機械加工兩種方法。光刻加工是以半導體制作技能為根底，用于微電機體系（Micro Electro mechanical Systems MEMS）的制作。光刻技能盡管較為老練，但存在被加工資料種類單一、加工設(shè)備貴重等疑問，且只能加工布局簡略的二維或準三維零件，無法進行雜亂三維微型零件的加工。

微型機床（Micro Machine Tools MMT）和微加工（Micro Machining MM）是將傳統(tǒng)加工技能及裝備微型化，并用于微型零件批量出產(chǎn)的技能，也就是用小機床加工小工件的技能。微加工通常是指微型機床加工工件標準范圍在100～10mm、加工精度范圍在0.1～1的金屬或塑料零件的非光刻加工技能。桌面工廠（Desktop Factory DTF）是由微型機床、微型機械手和運送設(shè)備等組成的細小化工廠。微型機床和桌面工廠開展的進程和不一樣時代的典型產(chǎn)物如圖3所示。

微型機床因為體積小、慣性質(zhì)量小、發(fā)熱量小，因而具有能耗低、柔性大、效率高的長處，能夠減小微型設(shè)備出產(chǎn)線的全體系標準規(guī)劃，既能夠節(jié)約能源又能夠節(jié)約制作空間和資源，契合節(jié)能、環(huán)保的需求，是綠色制作的開展方向之一。